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今天终于看到CVD了

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引用10楼 hualij77 这个完全不是问题,推荐一款仪器,GEM-3000,保证100...
这么厉害。原理是什么喔这台机。
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引用5楼 SiC 没实际测试过, 不过, CVD过程中引入的部分烷,可能有残留...
引用2楼 zyz2010 来 学习下....